VU Magazine 1994 - pagina 234

ESA Twe

Dr.ing. Frans van de Pol: "Druk bezig met opdracliten die geld opleveren."

12

naar Novosibirsk, waar Russische natuurkundigen zeer fijne membranen vervaardigen. IMM werkt ook samen met computergigant IBM, maar op de details van die samenwerking wil Ehrfeld niet ingaan. "You know why", zegt hij, steels verwijzend naar bedrijfsgeheimen. Nederlandse bedrijven als Stork, Océ en Philips zijn ook actiefin de micromechanica. Een woordvoerder van Philips Research, de organisatie waar het gerenommeerde NatLab onder valt, laat weten dat het bedrijf onderzoek doet naar micromechanische technieken ten behoeve van nieuwe generaties produkten. Daarbij wordt nagegaan of werkwijzen die gebruikt worden in de microelektronica, ook geschikt zijn voor het realiseren van drie-dimensionale structuren op micrometer-schaal. Het gaat om procédés als etsen en lithografie. Ook microscopische manipulaties behoren tot de mogelijkheden. De afdeling marketing van het bedrijf in Eindhoven houdt wel voeling met de onderzoekers, maar ontwikkeling van concrete produkten is nog niet aan de orde. De micromechanica is daarvoor nog teveel in de

v u MAGAZINE JUNI 1991

explorerende fase. Research vindt plaats in verschillende onderzoeksgroepen die verwachten dat de nieuwe techniek bruikbaar is voor het bereiken van andere doeleinden, zoals - het is zo maar een voorbeeld het nauv/keuriger op spanning brengen van video-banden.

Produktietechniek "Met de Universiteit Twente", aldus de woordvoerder, "is op het ogenblik een samenwerking aan de gang om na te gaan m hoeverre dergelijke werkwijzen kunnen worden toegepast op het gebied van sensoren. Al deze inspanningen zijn gericht op toepassingen op de middellange termijn." Op dus naar Enschede, waar dr. Miko Elwenspoek kan uitleggen hoe micromechanische apparatuur gemaakt wordt. Het visitekaartje van Elwenspoek vermeldt dat hij 'Associate Professor' is, verbonden aan MESA, een onderzoeksinstituut dat opereert op het grensgebied tussen electronica, natuurkunde en scheikunde. MESA de afkorting staat voor Micro Electronics, Materials Engineering, Sensors & Actuators - is gevestigd in een gebouw dat oogt als het prototype van een technologisch onderzoekslaboratorium: apparatuur ter waarde van miljoenen guldens, kleurige lampjes

en bedieningspanelen; daartussen een paar mensen, van top tot teen gehuld in v/itte, stofvrije pakken. In zijn werkkamer met uitzicht op het Twentse land vertelt Elwenspoek wat er in die futuristische omgeving gebeurt. Hij pakt een flinterdun, spiegelend schijfje silicium: "Dit is ons basismateriaal. Zo'n schijfje wordt in een oven met zuurstof en v/aterdamp verhit tot 1200 graden Celsius. Daardoor ontstaat een laagje siliciumoxyde van een micrometer dik, waarop we fotolak aanbrengen. Daarin maken we patronen door de lak te belichten, net zoals je een foto maakt. De fotolak harden we. En vervolgens laten we het siliciumoxyde wegvreten met behulp van fluorwaterstof. De fotolak verwijderen we met behulp van aceton. Wat rest is een schijfje, dat is bedekt met siliciumoxyde waarop een patroon is aangebracht."

Etsen "Het schijfje gaat in kaliloog", vervolgt Elwenspoek, "een stof die in de ene richting sneller etst dan in de andere. Het loog vreet onder een scherpe hoek naar beneden, waardoor fijne sleuven en gaten ontstaan in het silicium, die tot op tienden van micro-meters vorm kunnen worden gegeven. Dat is de basis van

Deze tekst is geautomatiseerd gemaakt en kan nog fouten bevatten. Digibron werkt voortdurend aan correctie. Klik voor het origineel door naar de pdf. Voor opmerkingen, vragen, informatie: contact.

Op Digibron -en alle daarin opgenomen content- is het databankrecht van toepassing. Gebruiksvoorwaarden. Data protection law applies to Digibron and the content of this database. Terms of use.

Printen